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离子束抛光是一种精密加工技术，用于平滑材料表面，去除微小的不平整度或污染物，离子束抛光过程中，离子束撞击材料表面，通过物理和化学作用去除表面材料，关于离子束抛光中的去除函数，它描述了材料去除量与离子束参数之间的关系，去除函数受到多种因素的影响，包括离子束的能量、角度、密度和加工时间等，关于其与离子抛光仪的关系，离子抛光仪是实现离子束抛光的重要设备之一，仪器的工作参数和性能直接影响去除函数的形状和大小，可以说离子束抛光的去除函数是与离子抛光仪密切相关的，具体的去除函数形式可能会因不同的离子抛光仪型号、材料和加工需求而有所不同，如果需要更详细的信息，建议查阅相关的技术文献或咨询专业的工程师。